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    ISO14644-1、GB50073-2001潔凈廠房標準規(guī)范
    ISO14644-1、GB50073-2001criterion standard of clean workshop

    Class等級 等級限制(Limited Class)
    0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1um 5um
    (m3) (m3) (m3) (m3) (m3) (m3)
    1 10 2 / / / /
    2 100 24 10 4 / /
    3 1000 237 102 35 8 /
    4 10000 2370 1020 352 83 /
    5 100000 23700 10020 3520 832 29
    6 1000000 237000 102000 35200 8320 293
    7 / / / 352000 83200 2930
    8 / / / 3520000 832000 29300
    9 / / / 35200000 8320000 293000

    注:1.每個采點應(yīng)至少采樣3次;
    2.本標準不舍用于表征懸浮粒子的物理性,化學(xué)性、放射性及生命性;
    3.根據(jù)工藝要求確點1至2種粒徑;
    4.各種要求粒徑D的粒子大允許濃度Cn由公式確定,要求的粒徑在0.1~5um范圍,包括0.1um及5um。

    Cn=10NX(0.1/D)2.08

    式中:Cn——大于或等于要求粒徑的粒子允許濃度(pc/m3)。Cn是以四舍五入到相近的整數(shù),有效位數(shù)不超過三位數(shù)。
    N——沽浄度等扱, 敷字不超出9、 潔凈度等級整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為允許遞增量。
    D——要求的粒徑(um)。
    0.1——常數(shù),其量綱為um。

    美國聯(lián)邦標準
    (FS209E)America federation standard (FS209E)

    等級(Class) 粒徑(um)diameter of dust(um)
    01. 0.1 0.2 0.3 0.5 50
    1 35 35 7.5 3 1 /
    10 350 350 75 30 10 /
    100 / / 750 300 100 /
    1000 / / / / 1000 7
    10000 / / / / 10000 70
    100000 / / / / 100000 700

    各行業(yè)潔凈等級分類

    行業(yè)分類 潔凈度 級別
    01.μm級 1.000 10.000 100.000
    0.5μm級 10 100 1.000 10.000 100.000
    用途
    半導(dǎo)體工業(yè) 拉單晶 /
    擴散 /
    腐蝕、光刻、表面處理、金屬蒸發(fā) /
    組裝試驗 /
    原料 /
    研磨 / /
    包裝
    半成品儲藏 /
    激光工業(yè) 氣體激光 /
    固體激光 /
    半導(dǎo)體激光、激光手術(shù)刀 /
    光學(xué)儀器 鏡片研磨 /
    刻標 /
    醫(yī)用照相機加工、裝配、鏡頭組裝 /
    膠片制造、干燥 /
    縮微膠片、顯像、干燥 /
    組裝 /
    涂漆、試驗、檢查 /
    計時·精密儀器 電子表、零件組裝、火箭零件加工組裝 /
    人造衛(wèi)星控制裝置 /
    高可靠性部件裝置 /
    微型軸承 /
    普通軸承 /
    組裝,檢查 /
    電子計算器 磁鼓、磁帶、磁盤 /
    加工、組裝、試驗、檢查 /
    電子機械、電子式計算測試 顯像管 / /
    高可靠管、光導(dǎo)攝像管 /
    印制板 /
    小型續(xù)電器 /
    精密電器儀表 /
    零件、加工、組裝、檢查 /
    藥品·醫(yī)學(xué)·醫(yī)院 制藥工序 /
    注射液·安瓶封瓶 /
    注射·林格氏液·疫苗貯存 /
    無菌手術(shù)室 /
    一般手術(shù)室、恢復(fù)室、LCU、CCU /
    無菌病房 /
    新生嬰·早產(chǎn)嬰兒室 /
    無菌房、手術(shù)機械保管室、無菌動物實驗、細菌實驗 /
    藥劑室 /
    一般病房、診療室 /
    食品釀造 牛奶、酒、乳酸菌飲料 /
    清涼飲料的瓶裝,封口 /
    乳制品、糕點包裝 /
    火腿片制造、蘑菇種植 /
    肉食加工 /